光纤FPI高温压力传感器的设计与******
航空发动机内部环境严苛,需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力和温度信号。基于法布里珀罗*涉原理,以蓝宝石为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿。通过有限元分析软件ANSYS对传感器模型进行静态及温度/压力耦合分析,确定了传感器的具体结构尺寸参数。传感器的压力灵敏度为2.216 nm/MPa,温度灵敏度为9.198 pm/℃,交叉灵敏度为0.017 MPa/℃,在26~1500℃范围内具有******的热-机械性能,为蓝宝石高温压力传感器的结构优化提供了参考。 引言 圆形膜片相比方形膜片具有更高的灵敏度和更均匀的应力分布,避免了应力集中,因此选择圆形膜片作为敏感元件。 通过正交实验分析法和ANSYS有限元******,优化了膜片的尺寸和厚度,使其在满足强度要求的同时,提高一阶固有频率和动态范围。 利用ANSYS Fluent软件对传感器进行热流固耦合分析,验证了传感器在高温高压环境下的性能,腔长随温度和压力变化呈线性关系,线性拟合度******。 2.4 传感器F-P腔的光学****** 对传感器F-P腔的光学性能进行了******分析。通过将热流固耦合分析得到的腔长变化结果导入COMSOL的波动光学模块,模拟了传感器在不同压力和温度条件下的反射光谱变化。******结果显示,腔长缩短时,反射光谱的振幅和自由光谱范围(FSR)增加。通过计算FSR对应的腔长和腔长变化量,验证了光学******结果与热流固耦合******值的一致性,***大误差仅为0.25%。该部分还通过优化扫描步长,将误差进一步降低至0.00376%,证明了传感器设计的光学性能满足高温压力测量的要求。 2.5 布拉格光栅温度补偿的光学****** 利用时域有限差分法(FDTD)对光纤布拉格光栅(FBG)进行了温度补偿的光学******。通过建立高、低折射率区域的周期性模型,分析了温度变化对FBG反射光谱的影响。 2.6 温度补偿方法与误差 介绍了基于光纤布拉格光栅(FBG)的温度补偿方法及其误差分析。由于F-P腔的变形同时受温度和压力影响,且FPI和FBG的灵敏度存在差异,因此需要进行解耦计算。利用FBG对压力不敏感的特性,通过灵敏度矩阵计算温度/压力交叉灵敏度,并结合热力耦合分析得到膜片变形与温度的关系。 3 结论
阐述了传感器的核心光学原理,包括基于法布里珀罗*涉(F-P)的传感器设计和光纤布拉格光栅(FBG)的温度补偿机制。F-P传感器利用多光束干涉原理,其腔长和介质折射率的变化会导致干涉光谱的相位变化,进而影响反射光谱的自由光谱范围(FSR),可用于压力测量。FBG传感器则通过温度变化引起的光栅反射波长漂移实现温度监测,其温度灵敏度远高于压力灵敏度,因此可用于温度补偿。两者结合实现了温度和压力的解耦测量,为传感器在高温环境下的应用奠定了理论基础。
2.1 敏感膜片形状选择


